Το υπέδαφος της ΠάρνηθαςΠάρνηθος αποτελείται κυρίως από [[Ιζηματογενές πέτρωμα|ιζηματογενή]] πετρώματα όπως δολομιτικούς [[ασβεστόλιθος]], σχιστόλιθους και [[Φλύσχης|φλύσχη]]<ref>Πάρνηθα, Νίκος Νέζης και Δημήτρης Γιώτας, σελ.25</ref> που σχηματίστηκαν πριν από περίπου 570 εκατομμύρια χρόνια. Οι σχιστόλιθοι γενικά παρατηρούνται στις χαράδρες και στις κοιλάδες του βουνού και οι ασβεστόλιθοι στις κορυφές του, ενώ εμφανίζεται και λίγος φλύσχης.<ref>{{Cite news|url=http://www.flabouri.gr/plirofories/parnitha/|title=Πάρνηθα - Φλαμπούρι|work=Φλαμπούρι|language=el-GR|accessdate=2018-06-09}}</ref>
