Πέθανε έπειτα από ασθένεια που κράτησε ένα μήνα, 64 χρονών, το [[485 π.Χ.]]. Στη διαμάχη της διαδοχής μεταξύ των γιων του Αρτοβαζάνη και του [[Ξέρξης Α΄|Ξέρξη]], ο Δαρείος επέλεξε ως διάδοχό του τον δεύτερο λόγω του ήταν γιος της κόρης του [[Κύρος Β΄ της Περσίας|Κύρου του Μέγα]] [[Ατόσσα της Περσίας|Ατόσσας.]] Άλλα παιδιά του Δαρείου που κατέγραψε η ιστορία είναι οι [[Αριαβίγνης]], [[Αχαιμένης]], [[Υστάσπης]], Μασίστιος, Αρσάμης, Γωβρύας, Αριομάδρος, Αριαμένης (ναύαρχος του στόλου των [[Πέρσες|Περσών]] στην εκστρατεία του Ξέρξη στην [[Ελλάδα]] και μάλιστα πέθανε στη [[ναυμαχία της Σαλαμίνας]]), Πανδουσία, Ιστίνια, Αβροκόμης, Υπεράνθης (οι δυο τελευταίοι πέθαναν στη [[μάχη των Θερμοπυλών]]) και η Αρταζόρτη, η γυναίκα του στρατηγού Μαρδόνιου.
Ο τάφος του είναι στο Νακσ-ι-Ρουστάμ (Naqsh-i-Rustam), ένα ταφικό μνημείο λαξευμένο στο βράχο, κοντά στην [[Περσέπολη]].
